關(guān)于晶圓退火電源中的電壓管理研究——以80V晶圓退火電源為例探討其關(guān)鍵技術(shù)特點與未來發(fā)展?jié)摿? 一、引言 晶圓退火工藝是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中不可或缺的一環(huán),對于提升半導(dǎo)體材料的性能至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)...
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