脈沖直流濺射電源研究與應(yīng)用 引言 隨著現(xiàn)代電子技術(shù)的飛速發(fā)展，脈沖直流濺射電源在眾多工業(yè)領(lǐng)域，特別是電子工業(yè)領(lǐng)域中，顯示出越來越重要的作用。它在薄膜制備、集成電路制造、平板顯示技術(shù)等領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)...
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