脈沖直流濺射電源研究與應用 引言 隨著現代電子技術的飛速發展,脈沖直流濺射電源在眾多工業領域,特別是電子工業領域中,顯示出越來越重要的作用。它在薄膜制備、集成電路制造、平板顯示技術等領域發揮著至關...
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